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大宗特气输送设备
大宗特气输送设备
此系统可实现电子特殊气体的持续大流量不间断安全供应,主要适用于Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工厂特气(如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl)的集中供气。
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