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加热水洗式

 
 
 
产品特点:99%的处理效率;高安全性;低运行成本;操作简单,维护成本 低;PLC控制;可选择水循环系统; 燃烧反应室可定时自动清洁,超长时间稳定运转;
适用于:适应于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与 化学气相沉积制程中产生的废气


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