1.尼康推出新一代i-line步进式光刻机
尼康宣布推出新一代5倍缩小的i-line步进式光刻机“NSR-2205iL1”，可用于制造功率、通信器件及MEMS器件等，并且完全兼容现有的尼康i-line曝光系统。据介绍，NSR-2205iL1分辨率≦350nm，曝光光源为i-line (365nm波长)，NA为0.45，*大曝光场22 mm x 22 mm。NSR-2205iL1将通过多点自动对焦（AF）、先进的晶圆台平整技术以及宽深度焦点范围（DOF）等多种优点，在高精度晶圆测量的基础上，为各种半导体制造过程提供高生产率，并优化产量水平。此外，由于其晶圆厚度和尺寸的兼容性、高晶圆翘曲容忍度以及灵活的功能（包括但不限于支持SiC（碳化硅）和GaN（氮化镓）加工），NSR-2205iL1 i-line光刻机适用于多种应用场景。今年以来荷兰、日本相继出台对华光刻机等半导体设备的限制措施，尼康已受到了影响。近日尼康公布的二季度业绩显示，二季度半导体用的光刻机仅卖出4台，而去年同期是8台；FPD用的光刻机卖了2台，去年同期是7台；整个2季度一共才卖出各种光刻机6台，下滑60%。
（来源：JSSIA整理）
2.中巨芯科创板上市
资料显示，中巨芯成立于2017年，主要从事电子湿化学品、电子特种气体和前驱体材料的研发、生产和销售。产品广泛应用于集成电路、显示面板以及光伏等领域的清洗、刻蚀、成膜等制造工艺环节。2020年—2022年，中巨芯分别实现营业收入4亿元、5.66亿元、7.99亿元；归属于母公司所有者的净利润为2467.16万元、3332.03万元、1052.23万元。2023年1-9月，中巨芯营业收入预计为63612.22万元至67832.74万元；归属于母公司所有者的净利润预计为2455.34万元至3567.76万元；扣除非经常性损益后归属于母公司所有者的净利润预计为-124.65万元至987.77万元。中巨芯本次募集资金用于中巨芯潜江年产19.6万吨超纯电子化学品项目以及补充流动资金。
3.捷佳伟创自主研发的电子级硅芯清洗设备下线
据捷佳伟创官微消息，近日，捷佳伟创子公司常州捷佳创精密机械有限公司完全自主研发的电子级硅芯清洗设备成功下线，即将交付客户。据悉，该设备是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清洗设备，用于清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子，采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺，产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程，清洗后总表金属≤0.2ppbm。捷佳伟创表示，目前已实现表金属0.5ppbw以上等级的电子级硅料批量出货，2024**季度将推出0.1ppbw以下的产品。
4.环球晶并购同集团的兆远科技
近日，环球晶将增资发行新股，以换股方式并购同集团的兆远科技，此案于9月8日申报生效，预计11月1日完成。环球晶以0.02股换兆远1股的比例，发行新股为对价，取得兆远所有股权。兆远将申请终止上市，并停止公开发行，后续将成为环球晶100%持股子公司。环球晶是全球五大硅晶圆制造商之一，1981年创立时为中美硅晶制品股份有限公司半导体事业部，后于2011年独立分割为环球晶圆股份有限公司，产品应用跨越电源管理元件、车用功率元件、信息通信元件、MEMS元件等领域。兆远科技股份有限公司是中国台湾地区**硬脆材料基板专业制造厂，为蓝宝石基板供货商，由于长期亏损，于2022年停止蓝宝石基板生产，并积极推动产品转型，朝砷化镓、钽酸锂、铌酸锂晶圆市场发展，以谋求永续经营。
（来源：集微网/JSSIA整理）
5.ASML：年内仍可向中国出口部分高端浸润式光刻系统
据中国日报消息，荷兰*新芯片出口管制措施9月1日生效，ASML已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证申请。ASML方表示，荷兰政府已经颁发了截至9月1日所需的许可证，允许ASML今年继续发运TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统。在新的出口管制条例下，今年年底前ASML仍然能够履行与客户签订的合同，发运这些光刻设备。但ASML称，客户也已知悉出口管制条例所带来的限制，即自2024年1月1日起，ASML将基本不会获得向中国客户发运这些设备的出口许可证。
（来源：SEMI整理）
