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燃烧式

 

 
 
产品特点:99%的处理效率;高安全性;安装简单,无需地面特殊正理;低运行成本,处理残渣方便;PLC控制,超长时间稳定运转;
适应于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中制程中产生的部分毒性废气。常用于易燃易爆特气输送系统Vent气体处理(H2、O2系统除外);


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