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干式/吸附式

 
 
 
产品特点:99%的处理效率;高安全性;低运行成本,更换吸附剂方便;PLC控制,超长时间稳定运转;
适用于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中制程中产生的部分毒性废气;常用于特气输送系统Vent气体处理;


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