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自动气柜

 
 
自动气柜:适应于所有高纯气体的供应系统;
基本功能包括自动吹扫,自动切换,以及自动切断(当设定报警号被触发时)。 本系统控制系统由PLC和触摸屏组成,并配以特有的逻辑控制。面板部件全 部采用模块结构,以使面板内的总容积最小,并最大限度地减少了泄露的可能性,面板部件所有的接口全部为VCR接口;


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