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VMB气体分流箱

 
 
VMB气体分流箱:适用于制程气体的分配和压力调节
VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMB的每一部份。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。



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