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大宗特气输送系统

工艺制程中会使用到用量较大的易燃易爆/有毒有害/腐蚀性等各类特种气体SiH4,NH3,CL2等,大宗特气输送系统就是把以上各种特种气体安全、稳定的、以满足工艺制程要求的压力和流量等供应至工艺设备,并且大宗特气系统本身在供应输送过程中不会对特种气体产生二次污染。

服务范围:为客户设计整套不间断大宗特气系统方案(除特气供应),大宗特气设备选型、配置设计至相应配套的工艺管道布置安装,为客户提供符合工艺需求的特气输送成套系统,并按客户要求进行针对空间管理及需求配置。




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